Deposition
چۈشەنچىگە ئېرىشىپ ، تەرەققىيات جەريانىنى تېزلىتىڭ.
ئىلغار ئېنېرگىيە ھالقىلىق نېپىز پەردە قوللىنىش پروگراممىلىرى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ گېئومېتىرىيىسى ئۈچۈن توك بىلەن تەمىنلەش ۋە كونترول قىلىش چارىلىرىنى تەمىنلەيدۇ.ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش خىرىسىنى ھەل قىلىش ئۈچۈن ، بىزنىڭ ئېنىق بولغان توك ئۆزگەرتىش ھەل قىلىش چارىلىرىمىز ئارقىلىق توكنىڭ توغرىلىقى ، ئېنىقلىقى ، سۈرئىتى ۋە جەرياننىڭ تەكرارلىنىشىنى ئەلالاشتۇرالايسىز.
بىز كەڭ دائىرىدىكى RF چاستوتىسى ، DC ئېلېكتر سىستېمىسى ، خاسلاشتۇرۇلغان توك چىقىرىش سەۋىيىسى ، ماسلاشتۇرۇش تېخنىكىسى ۋە ئوپتىك تالا تېمپېراتۇرىسىنى نازارەت قىلىش لايىھىسى بىلەن تەمىنلەيمىز ، بۇ جەريان پلازمىسىنى تېخىمۇ ياخشى كونترول قىلالايسىز.بىز يەنە تېز DAQ ™ ۋە سانلىق مەلۇماتقا ئېرىشىش ۋە قولايلىق يۈرۈشلۈك دېتاللارنى بىرلەشتۈرۈپ ، جەرياننى چۈشىنىش ۋە تەرەققىيات جەريانىنى تېزلىتىمىز.
ئېھتىياجىڭىزغا ماس كېلىدىغان ھەل قىلىش چارىسىنى تېپىش ئۈچۈن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىمىزنى كۆپرەك بىلىۋېلىڭ.
سىزنىڭ رىقابەت
توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ ئۆلچىمىدىن ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئىزولياتسىيىلىك فىلىم (ئېلېكتر قۇرۇلمىسى) ، مېتال پىلاستىنكا (ئۆز-ئارا ئۇلىنىش) غىچە بولغان ئارىلىقتا ، سىزنىڭ چۆكۈش جەريانىڭىز ئاتوم سەۋىيىسىنى كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ - ھەر بىر ئىقتىدار ئۈچۈنلا ئەمەس ، بەلكى پۈتكۈل ۋافېردا.
قۇرۇلمىنىڭ ئۆزىدىن باشقا ، ئامانەت قويغان فىلىملىرىڭىز چوقۇم سۈپەتلىك بولۇشى كېرەك.ئۇلار لازىملىق ئاشلىق قۇرۇلمىسى ، بىردەكلىكى ۋە ماس كېلىدىغان قېلىنلىقىغا ئىگە بولۇشى ھەمدە بوش قالماسلىقى كېرەك - بۇ ئېھتىياجلىق مېخانىكىلىق بېسىم (پىرىسلاش ۋە جىددىيلىشىش) ۋە ئېلېكتر خۇسۇسىيىتى بىلەن تەمىنلىگەندىن باشقا.
مۇرەككەپلىك پەقەت داۋاملىق كۈچىيىۋاتىدۇ.تاش مەتبەئە چەكلىمىسىنى ھەل قىلىش ئۈچۈن (1X nm تۈگۈن) ، ئۆز-ئارا ماسلاشتۇرۇلغان قوش ۋە تۆت چاسا شەكىل تېخنىكىسى سىزنىڭ چۆكۈش جەريانىڭىزنى تەلەپ قىلىپ ، ھەر بىر ۋافېردا ئەندىزە ھاسىل قىلىشى ۋە كۆپەيتىشىنى تەلەپ قىلىدۇ.
بىزنىڭ ھەل قىلىش چارىمىز
سىز ئەڭ ھالقىلىق چۆكمە قوللىنىشچان پروگراممىلار ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ گېئومېتىرىيىسىنى ئورۇنلاشتۇرسىڭىز ، ئىشەنچلىك بازار رەھبىرىگە ئېھتىياجلىق بولىسىز.
ئىلغار ئېنېرگىيەنىڭ RF توك يەتكۈزۈش ۋە يۇقىرى سۈرئەتلىك ماسلاشتۇرۇش تېخنىكىسى بارلىق ئىلغار PECVD ۋە PEALD چۆكۈش جەريانلىرىغا ئېھتىياجلىق بولغان توكنىڭ توغرىلىقى ، ئېنىقلىقى ، سۈرئىتى ۋە جەرياننىڭ تەكرارلىنىشىنى ئىختىيارىي ۋە ئەلالاشتۇرالايسىز.
بىزنىڭ DC گېنېراتور تېخنىكىمىزدىن پايدىلىنىپ تەڭشىگىلى بولىدىغان ئەگمە ئىنكاسى ، قۇۋۋەتنىڭ توغرىلىقى ، سۈرئىتى ۋە جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى تەلەپ قىلىنغان PVD (پۈركۈش) ۋە ECD چۆكۈش جەريانىنى ئىنچىكە تەڭشەڭ.
پايدىسى
پلازما مۇقىملىقى ۋە جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى مەھسۇلاتنى ئاشۇرىدۇ
RF تولۇق رەقەملىك كونترول بىلەن RF ۋە DC يەتكۈزۈپ بېرىش جەريان ئۈنۈمىنى ئەلالاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ
پلازما ئۆزگىرىشى ۋە ئەگمە باشقۇرۇشقا تېز ئىنكاس قايتۇرۇش
Ad ماسلىشىشچان چاستوتا تەڭشەش ئارقىلىق كۆپ قاتلاملىق تومۇر سوقۇلۇش نىسبىتىنىڭ تاللاشچانلىقىنى ئۆستۈرىدۇ
● يەر شارىنىڭ قوللىشى ئەڭ يۇقىرى ۋاقىت ۋە مەھسۇلاتنىڭ ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ