TPM5 يۈرۈشلۈك قۇۋۋەت كونتروللىغۇچ مودۇل لايىھىلەش ئىدىيىسىنى قوللانغان ۋە ئىچىگە 6 توك يولى بىرلەشتۈرۈلگەن.مەھسۇلاتلار ئاساسلىقى تارقاق ئوچاق ، PECVD ، تۇتقاقلىق ئوچاق قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ.